在电气真空行业中,真空密封是电气真空设备的关键。但如果密封后的电气真空设备有轻微泄漏,则需要使用各种方法进行泄漏检测。找到泄漏部位后,然后堵塞该部位。目前常用的泄漏检测方法是酒精泄漏检测,酒精泄漏检测方法难以找到泄漏部位,主要原因是钛泵电源输出电流显示灵敏度太低(小满程显示50μA),仪表中无法显示小电流变化,为了检测微泄漏部位,往往需要几个月,因此泄漏检测效率很低。
本发明的目的是提供高灵敏度输出电流显示的钛泵电源,高灵敏度输出电流显示的钛泵电源。
主要特点是高压开关稳压电源、电流取样电路、计算放大器、量程转换和负载电流指示,计算放大器一端有零调节器。
钛泵检漏器检漏的一种方法,包括步骤包括步骤a)当钛泵泄漏检测器处于工作状态时,表示泄漏气体分别喷射可疑泄漏位置;b)测量IAIR值和IHE值;c)找出△I值;d)计算泄漏率值。
钛泵泄漏检测仪工作时,还包括步骤a)去除钛泵磁铁;b)用空气积累5分钟;c)安装磁铁使钛泵工作;d)测量IAir值;e)再次去除钛泵磁铁;
f)向可疑部位喷洒HE气体;g)积累5分钟;h)安装磁铁使钛泵工作;i)测量IHE值;j)找出△I值;k)计算泄漏率值。
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